左文科技的核心競(jìng)爭(zhēng)力是依托于其**的MPCVD設(shè)備技術(shù)與持續(xù)的科研**能力，設(shè)備采納了行業(yè)前沿的技術(shù)與工藝，注重對(duì)金剛石材料生長(zhǎng)過(guò)程的一致性和重復(fù)性的精準(zhǔn)把控，從而確保設(shè)備的**性能和金剛石的優(yōu)良品質(zhì)。自創(chuàng)立之初，我們便專注于碟形腔MPCVD設(shè)備的研發(fā)與量產(chǎn)化進(jìn)程，歷經(jīng)五年時(shí)光與上百臺(tái)設(shè)備的持續(xù)生產(chǎn)驗(yàn)證及迭代升級(jí)，如今在2.45GHz頻段已成功量產(chǎn)6kW、10kW及15kW的MPCVD設(shè)備，并正積極測(cè)試915MHz頻段的大功率設(shè)備。
在金剛石材料工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，左文科技憑借深入的研究與實(shí)踐，開(kāi)發(fā)出了一系列適應(yīng)于刀具、熱沉片、光學(xué)窗口、半導(dǎo)體材料等多個(gè)領(lǐng)域的先進(jìn)應(yīng)用工藝。
在金剛石材料珠寶應(yīng)用領(lǐng)域，我們目前能夠量產(chǎn)20克拉以上的無(wú)色、藍(lán)色、粉色及黃色等多種顏色的裸鉆，毛坯尺寸覆蓋7mm×7mm至20mm×20mm，重量則從4克拉跨越至30克拉，并正致力于50克拉鉆石毛坯的量產(chǎn)化工藝開(kāi)發(fā)。
應(yīng)用領(lǐng)域：
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珠寶級(jí)鉆石
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功率半導(dǎo)體
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復(fù)合熱沉片
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精密刀具刀頭
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高純度電化學(xué)電極
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紅外光學(xué)窗口
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量子傳感器/NV色心量子器件
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高增益激光器
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納米金剛石材料
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第四代半導(dǎo)體材料
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系統(tǒng)參數(shù)
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型號(hào)
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ZW-06SA-6KW
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ZW-10MKS-10KW/15KW
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微波電源功率
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2.45GHz 6KW
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2.45GHz 10KW/15KW
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反應(yīng)腔
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掀蓋式鋁制碟形腔
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掀蓋式鋁制碟形腔
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輸入氣路
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標(biāo)準(zhǔn)四路氣路(可選配加裝至六路)
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標(biāo)準(zhǔn)四路氣路(可選配加裝至六路)
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生長(zhǎng)臺(tái)類型
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水冷式不銹鋼生長(zhǎng)臺(tái)，銅散熱底盤
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水冷式不銹鋼生長(zhǎng)臺(tái)，銅散熱底盤
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襯底沉積臺(tái)
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*大支持2.36英寸、60mm直徑圓臺(tái)面 積穩(wěn)定沉積
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*大支持3.15英寸、80mm直徑圓臺(tái)面積 穩(wěn)定沉積
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系統(tǒng)真空密封性
(氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè))
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真空度(氦檢)<5x10`Pa.m3/sec
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真空度(氦檢)<5x101Pa.m3/sec
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真空泵類型
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真空油泵18m3/h(50hz)(選配)
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真空油泵18m3/h(50hz)(選配)
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工作壓力范圍
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工作作壓力：10-300Torr
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工作作壓力：10-300Torr
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溫度計(jì)
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雙波紅外溫度計(jì)(500-1475℃),可選紅外 成像溫度計(jì)
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雙波紅外溫度計(jì)(500-1475℃),可選紅外 成像溫度計(jì)
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控制系統(tǒng)
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PLC控制系統(tǒng)，自動(dòng)控制人機(jī)交互操作界面
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PLC控制系統(tǒng)，自動(dòng)控制人機(jī)交互操作界面
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觀察窗
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標(biāo)配兩個(gè)側(cè)觀察窗， 一個(gè)頂觀察窗
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標(biāo)配兩個(gè)側(cè)觀察窗， 一個(gè)頂觀察窗
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輸入電源
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380V,三相五線
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380V,三相五線
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輸入水壓及流量
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水壓小于5bar,流量6L/M以上
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水壓小于5bar,流量9L/M以上
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系統(tǒng)設(shè)備尺寸
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系統(tǒng)設(shè)備尺寸160cmx90cmx100cm
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系統(tǒng)設(shè)備尺寸160cmx90cmx100cm
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重量
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350KG
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400KG
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設(shè)備優(yōu)勢(shì)
◆超過(guò)1萬(wàn)小時(shí)的生產(chǎn)運(yùn)行，三年批量用于生產(chǎn)驗(yàn)證，可量 產(chǎn)白色及彩色鉆石的粗坯
◆反應(yīng)可控，起輝位置固定，穩(wěn)定輸出功率
◆等離子體遠(yuǎn)離石英窗口
◆采用不銹鋼臺(tái)及銅散熱底盤，可耐高溫
◆銅底盤沉積物更容易清理
◆采用水冷高效散熱設(shè)計(jì)，*大散熱功率達(dá)12KW
◆高可靠性，高實(shí)驗(yàn)重復(fù)性，高耐久性
◆可高度自動(dòng)化控制的軟件系統(tǒng)
◆采用上掀蓋設(shè)計(jì)，易于清洗及快速二次生長(zhǎng)
系統(tǒng)特點(diǎn)：
◆穩(wěn)定的沉積面積，鉬生長(zhǎng)臺(tái)直徑50-80mm
◆支持微波電源功率6KW/10KW/15KW
◆使用純凈石英窗口
◆采用不銹鋼臺(tái)，可耐高溫
◆高壓力控制，可產(chǎn)生高密度單模式等離子體
◆使用高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)，高可靠性穩(wěn)定的壓力控制系統(tǒng)
◆穩(wěn)定的微波源輸入，包括 Sairem,Mugee,MKS Instrument 等電源
◆可采用電機(jī)升降及功率壓力比例智能自動(dòng)控制生長(zhǎng)溫度
◆具有**互鎖機(jī)制，可自動(dòng)觸發(fā)并處理風(fēng)險(xiǎn)